光氧净化设备在使用前期进气要预处理到位，比如喷淋、过滤，等离子等，要保证进气无固定污染物（否则灯管表面附着物过多短波紫外线很难透过），然后让主要有机无机废气成份经过双波段紫外线灯的光解反应区，然后让气体再经过254纳米波长单波段光催化辅助反应区，在这个反应区一是光氧催化分 解，另外重要的一点是254nm波长紫外线会大量分 解掉反应完过量的O3臭氧（困为排放到大气中的O3也是一种污染原），使O3还原成氧气，O3还原成氧气的过程会有大量活气O原子，在光氧催化的作用上会进一步配合分 解反应。同时，如果在末端再加上一至两层臭氧催化网分 解掉残余的少量臭氧，这样排放出来的空气则洁净如新。
光氧净化器对高浓度废气进行预处理，对各车间内产生的废气进行分析，存在禁忌物质的废气应分开处理。当废气管道内可能沉积危险物质时(如活性碳、叠氮化合物等)时应考虑对废气管道进行定期清洗。在废气管道设计、安装时须应考虑有的斜度，方便积液的排除，避免积液积聚过多而导致废气管变形和残留的混合物过多，引起二次爆炸；并对废气总管内的积液进行定时排液。废气管道在各危险点(如支管接入总管处)设泄爆板，以减少爆炸气体大量回冲反应釜，产生连锁反应。
UV光氧废气净化器的处理方法：
1、稀释扩散法
将有臭味地气体通过烟囱排至大气，或用无臭空气稀释，降低恶臭物质浓度以减少臭味。适用范围：适用于处理中、低浓度的有组织排放的恶臭气体。优点：费用低、设备简单。缺点：易受气象条件限制，恶臭物质依然存在。
2、水吸收法
利用臭气中某些物质易溶于水的特性，使臭气成分直接与水接触，从而溶解于水达到脱臭目的。适用范围：水溶性、有组织排放源的恶臭气体。优点：工艺简单，管理方便，设备运转费用低产生二次污染，需对洗涤液进行处理。缺点：净化效率低，应与其他技术联合使用，对硫醇，脂肪酸等处理效果差。
 3、曝气式活性污泥脱臭法
将恶臭物质以曝气形式分散到含活性污泥的混和液中，通过悬浮生长的微生物降解恶臭物质适用范围广。适用范围：截至2013年，日本已用于粪便处理场、污水处理厂的臭气处理。优点：活性污泥经过驯化后，对不超过负荷量的恶臭成分，去除率可达99.5%以上。缺点：受到曝气强度的限制，该法的应用还有一定局限。
4、多介质催化氧 化工艺
反应塔内装填特制的固态填料，填料内部复配多介质催化剂。当恶臭气体在引风机的作用下穿过填料层，与通过特制喷嘴呈发散雾状喷出的液相复配氧 化剂在固相填料表面充分接触，并在多介质催化剂的催化作用下，恶臭气体中的污染因子被充分分 解。适用范围：适用范围广，尤其适用于处理大气量、中高浓度的废气，对疏水性污染物质有很好的去除率。优点：占地小，投资低，运行成本低；管理方便，即开即用。缺点：耐冲击负荷，不易污染物浓度及温度变化影响，需消耗一定量的药剂。
5、低温等离子体
低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的着火电压时，气体分子被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分 解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。
低温等离子体空气净化设备能够显著治理的污染有：VOC、恶臭气体、异味气体、油烟、粉尘，也可用于消毒杀菌。低温等离子体技术是一种全新的净化过程，不需要任何添加剂、不产生废水、废渣，不会导致二次污染。
等离子废气净化器漏油原因：
1、设计不合理。包括产品设计人员在设计时没考虑到密封，或不熟悉密封技术；密封结构形式设计不合理，与工作状态、工况条件、温度介质等特性不相适应，不注意设备的防腐、振动、均压和疏导措施；未考虑通气、回油、导液和拆装等因素。
2、制造与加工精度不良。包括在制造过程中平面加工不平直，配合不好，同心度差，表面粗糙度过高，铸造时造成气孔和砂眼等缺陷，以及其他制造、加工质量不良因素都将会造成泄漏。
3、密封材料选择不当。密封材料一般要具有致密性、回弹性、压缩性、柔软性、耐磨性，耐臭氧、耐辐射、耐磨蚀、抗介质侵蚀、耐高低温、机械加工性等基本性能。当然没有一种材料同时具备上述这些性能，因此可根据不同工况条件，选择具备主要性能的材料以适合密封条件。可是往往由于选择材料不合理，适应不了被密封的工况条件而造成泄漏。
4、管理不严、维护不周。这是设备泄漏的直接原因，如密封元件达到了使用寿命，但未及时更换，紧固件的松动，压盖没及时压紧和调节等。
5、安装方法不正确。泄漏的很多原因是安装位置不正，偏心过大，密封件侧裂，紧固螺钉预紧力不一，装配工艺不正确等引起。
6、工况条件恶劣。包括被密封介质有腐蚀性，振动剧烈，髙温高压，灰尘和外界介质侵蚀等。
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