气浮测量装置是 微纳加工技术与装备重点实验室自主研发的高精度气浮测量装置，用于精密光学器件和玻璃元件等精密元件的检测，在超精密加工工艺中，对超精密器件的检测是 超精密加工的重要组成部分。气浮测量装置总装配效果。被测工件放置在大理石平台上，因 大理石平台的平面度和光洁度达不到要求，造成检测结果与实际结果偏差较大。为使测量精度尽可能高，在装配的过程中，对各个部件间的配合精度要求会更高，市场上外购的通过企业加工的大理石平台的平面度和光洁度往往达不到设计时所需的要求，进而需要进一步手工精细研磨。
 环境对大理石研磨的影响主要指温度和振动对其影响。在超精密加工和测量的过程中，对温度和振动的要求极高。经过试验分析，采用同一测量方法对大理石平尺(直线度2.5μm）在精密恒温恒湿的实验室中，在空调开启前后的4h后分别进行测量，直线度相差3μm。
振动如人的走动等都会对精密加工和检测造成严重影响，本次研磨实验中保证实验室恒温恒湿且大理石平台周边都经过地基处理来防止振动造成影响。
大理石平台研磨所需的材料
1、研磨平台
研磨平台是 一种 能够保证被研磨件的精度和表面光洁度，同时压嵌在研磨剂上的平板研磨设备，实验室采购的研磨平台操作简单、上砂快、嵌砂量足，打磨后，被研磨件光洁度显著提高，被研磨件易得到所需的光洁度和平面度。
2、磨料碳化硼
研磨剂由磨料和研磨液调和而成。研磨液主要起到冷却和润滑的作用，常用煤油、汽油、甘油等。磨料碳化硼熔点为2350℃，硬度低于金刚石，高于刚玉和碳化硅，常用作精密大理石平台的研磨。
研磨方法
研磨和测量过程
(1)将待研磨的花岗石平台平面用乙醇清洗棉纱布擦干，使大理石平面光洁。
(2)大理石平面的尺寸1200mmX800mm，瑞士电子水平仪的固定长度为150mm，故在大理石平台上以150mm为步长，用记号笔和钢尺(其它也可，便于划线)配合在大理石平面进行长度和宽度方向上进行网格划分，网格划分目的是 每次测量时准确放置水平仪的位置，特别注意记号笔不可用力刻画大理石平面，以免人为伤到大理石平台，使平面度精度降低，研磨更加困难。
(3)计算机中提前安装与电子水平仪的配套软件Wyler，测量前先打开软件Wyler，进入LvelsoftPRO界面中，在软件的文件和选项中根据需求进行测量的各种 设置，如设置测量模板和测量单位等各项个性化设置。
(4)用电子水平仪按网格分别在长度和宽度方向上进行测量，一般先放置长度方向，完毕后软件会提示放置宽度方向。在放置电子水平仪时找准网格参照，尽量使每次放置的位置相同，因为多次放置和测量可以减少人为的测量误差。读出电子水平仪中的显 示数据输入Wyler软件中，需要两个人合作完成本部分(也可以用电子水平仪的无线蓝牙模式和软件连接进行数据读入)，数据输入完成后，软件会根据设置显 示所需的平面度结果。
(5)根据分析结果中的色相图，在大理石的大平面上需要研磨的部分进行适当研磨，磨料碳化硼和研磨液甘油按适合比例混合形成研磨剂，研磨剂先均匀涂在大理石平台上需要研磨的部分，然后用研磨平板进行研磨。在研磨的过程中分为粗研磨和精研磨过程，粗研磨过程中，因研磨量大，可以适当用力；在精研磨过程中，就要用力均匀保证研磨精度。同时局部研磨过程中使研磨平板的运动轨迹一直为8字型，这样研磨同一性和尺寸一致性都好，不容易出现塌边现象。
(6)重复上面步骤1一步骤5，直至达到所需要的精度。
高唐县鑫凯精密机械有限公司（http://www.xinkaijingmi.com）专业从事花岗石构件定做，系大理石异型加工和精密加工的专业制造商，公司多年来一直从事大理石量具、济南青大理石构件的设计和生产，产品广泛应用于汽车、农机、电器、仪表、五金等生产领域。
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