超精密微机械制造技术在工业生产过程中具有重要的作用，属于工业领域中的重要技术之一。因此，无论是 国内还是 国外都比较重视超精密微机械制造技术的研究工作，希望提高超精密微机械制造技术水平，实现对各种 微小零件进行加工的目的，进而促进工业的发展。目前我国超精密微机械制造技术中的关键技术主要有微机械加工设备技术、微切削加工技术、三维微小零件的精密多功能测量系统等多种 技术。
 1、微机械加工设备技术
近年来，国内外的许多国家都十分重视超精密微机械制造技术的发展与完善，而且取得了十分显著的成就。日本的微机械加工设备技术水平处于世界领 先水平，有效地解决了超精密微机械工件在切削加工过程中遇到的问题，实现了在3D复杂曲面的机械自由加工。除此之外，德国的微切铣削技术的发展也处于世界领 先水平，该种 技术主要是 用于淬火钢、硬铝材料等微型零件加工过程中。国内对于微型机械加工设备技术方面的研究成果还比较少。首 先，与传统机床结构相比微型加工设备具有许多特点。在进行关键性零件设计前必须要进行全面的分析和研究，实现优化设计的目的，从而使得微型加工设备结构布局达到最 优。其次，研究分析微型加工设备、典型零件以及部件的建模、仿真和动静态分析。最 后，在完成微型加工设备的设计与制造之后应当对微小零件的装夹、微型刀具的设计以及微型产品制造的关键技术进行分析研究，选取合理准确的机理工艺参数，明确切削的范围。由此可见，微机械加工设备的核心是 机床的设计，因此在进行机械产品的制造和装配时应当依靠精密和超精密加工技术。同时由于花岗石的优异性能，使得大理石平台广泛的用作各种 精密仪器、精密机床的基座和加工台面。
2、微切削加工技术
解决微切削加工技术发展过程中所遇到的问题具有十分重要的意义。第 一，在进行微切削加工工艺研究时必须要掌握微切削工艺的相关参数和切削的机理，确保微切削工艺设计的合理性，从而使得机械产品的质量和精度都能达到要求。第 二，微型切削加工过程是 一个动态的、非 线性的过程，因此加大对微切削力的预测工作具有十分重要的意义。在进行元件的切削时应当建立准确的模型，确定合理的最 小切削极限，从而有效提升切削力预测的准确性，保证构建模型对于每种 零件材料的适应性。第 三，如果在切削过程中存在刀具变形、刀具刃日、弹塑性行为或者是 刀具磨损等现象，会影响最 小切削极限。因此，必须要综合考虑 各种 因素对最 小切削极限的影响，从而有效提升微切削加工的准确性和有效性。
3、三维微小零件的精密多功能测量系统
三维微小电子零件的测量系统主要包括六部分，分别为高精度微小型坐标测量机、超精密柔性位移系统、高精度数据采集系统、原子力探针侧头传感系统、误差补偿系统以及花岗石平板基座。首 先，测量系统通过高精度激光干涉测量原理实现小空间范围内的在线测量和监测，从而作为微型机械、微型零件的几何尺度标准。其次，微尺度测量系统在进行三维坐标运动的过程中采用了柔性铰链四连杆，在进行长行程与小分辨能力驱动的过程中应用了螺旋形压电驱动装置。再次，在研究原子力微探针测头准接触力学模型时应用了原子力微探针测头技术。最 后，三维微小零件的精密多功能测量系统可以实现原子力信息检测。
综上所述，国内与国外在超精密微机械制造技术的发展具有较大的差距。因此为了有效地提高超精密微机械制造技术的发展水平，我们 应当充分利用国内的优 势，学习国外先进的设计理念与方法，开展高效率的制造系统研究，从而有效降低微小零件的制造成本，拓宽被加工材料的范围，提高机械产品质量，增加装备设计的灵活性。
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