关于 光氧净化器的技术起源，1913年哈伯等人利用磁铁矿，发明了双熔铁氨合成催化剂，利用原料气循环使用的流程，实现了合成氨的大规模工业生产。在此后的半个多世纪，多相催化工业技术经历了40年代末至50年代初的石油炼制技术的大发展（如催化裂化、加氢裂解、催化重整和异构化等）。70年代至80年代，是石油化工的大发展阶段（如新型择形ZSM-5分子筛催化剂用于异构化、歧化和芳烃烷基化过程等）；特别是进入90年代以后，出现了环境催化技术的大发展，例如催化消除氮氧 化物（NOx）、硫氧 化物（SOx）、可挥发性有机组分（VOCs）的催化氧 化。
光氧净化器采用-C波段紫外线与空气中的氧反应产生臭氧，分离油雾、废气等污染介质时，紫外线中的有效离子起决定性的作用。流星雨状的有效离子与介质内分子（原理）发生非弹性碰撞，将能量转化成基态分子（原子）的内能，发生激发、离解、电离等一系列过程使污染介质处于活化状态。从技术设计的角度来看，光氧净化器由初滤单元、C波段紫外线装置、催化装置、降解收集、臭氧发生器及过滤单元等设备和部件组成。光氧催化反应技术利用光激发氧反应将O2、H2O2等氧反应剂与光辐射相结合。所用光主要为紫外光，包括uv-H2O2、uv-O2等工艺，可以用于处理污水中CHCl3、CCl4、多氯联苯等难降解物质。另外，在有紫外光的Fenton体系中，紫外光与铁离子之间存在着协同效应，使H2O2分离产生羟基自由基的速率大大加快，推动有机物的氧反应去除。
在光氧净化器的技术特点方面，根据韩国环境研究所提供的资料显 示，在实验室条件下，采用UV光解工艺对单一的有机废气物质或恶臭气体物质严格控制进气浓度、气量及其他条件时，UV光解设备功率充足的情况下，测得UV光解净化速率均可达到99%以上。但有机废气催化燃烧设备实际运用过程中，由于受到各种因素或者条件的影响，如废气成分复杂，废气浓度不稳定或者不能达到UV光解较适中的范围（浓度过高或过低均会影响其净化去除率），风量、气压、温度、湿度等环境条件不稳定或者达不到UV光解净化的要求，废气预处理做的不够理想，后续排放管道没有留够充足的氧 化反应管道等等，导致UV光解的净化速率参差不齐，差异很大。
 光氧催化反应利用人工紫外线灯管产生的真空波紫外光作为能源来活化光氧催化剂，驱动氧反应一还原反应，而且光氧催化剂在反应过程中井不消耗，利用空气中的氧作为氧反应剂，有效地降解有毒有害废臭气体成为催化节约能源的较大特点。光氧净化器由初滤单元、-C波段紫外线装置，降解收集，臭氧发生器及过滤单元等设备和部件组成。光氧净化器降解污染物是利用这些有效电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分离，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。等离子体反应区富含很高的物质，如有效电子、离子、自由基和激发态分子等，废气中的污染物质可与这些具有较有效量的物质发生反应。
UV光氧废气净化器的应用：
一、光氧净化器利用特制的高能光束照射恶臭气体，裂解恶臭气体，如：氨、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC类，苯、甲 苯、二甲 苯的分子链结构，使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物，如CO2、H2O等。
二、利用高能高臭氧UV紫外线光束分 解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧)，众所周知臭氧对有机物具有极强的氧 化作用，对恶臭气体及其它刺激性异味有立竿见影的清除效果。
三、恶臭气体利用排风设备输入到本净化设备后，净化设备运用高能C波光束及臭氧对恶臭气体进行协同分 解氧 化反应，使恶臭气体物质其降解转化成低分子化合物、水和二氧 化碳，再通过排风管道排出室外。
四、利用高能UV光束裂解恶臭气体中细菌的分子键，破坏细菌的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧 化反应，彻底达到脱臭及杀灭细菌的目的。
等离子废气净化器使用前的注意事项
1、输入电源与净化器所用电源相符，严禁输入电源与净化器所用电源不符，且净化器箱体接地，以确保。
2、净化器进风口安装变径导风分流管，使废气平均分布进入净化器的各处理室，提高净化器使用率和处理效果。
3、在安装净化器留有足够空间用来打开净化器的门舱和电控盖，方便维护，检修及清洗。
4、为确保光氧净化器安装在室外，对净化器的电控电源加盖保护，以防雨水及阳光损坏电控电源而导致发生事故。
5、净化器需拆散搬运安装时，由专业人员根据原有装配规范操作组装，严禁有杂物或砂尘进入内部处理室，并检查内部件是否牢固。
6、选择净化器安装位置时，要求与污染源保持5米以上距离，抽风机与净化器保持在3米以上距离较为合适，并加设减振套以防影响净化器工作。
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